更新時(shí)間:2024-10-16
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一、動(dòng)態(tài)氣體校準儀工作原理:
動(dòng)態(tài)氣體校準儀主要由質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
質(zhì)量流量控制器用于精確控制零氣和標氣流量,零氣控制采用大流量控制器(10slpm),標氣采用小流量控制器(100sccm)。氣體輸出后通過(guò)混合室進(jìn)行混合,達到所設定控制的濃度
內置的臭氧發(fā)生器是由零氣經(jīng)紫外線(xiàn)照射而生成的,通過(guò)改變紫外線(xiàn)光強或零氣的流量來(lái)控制臭氧發(fā)生的濃度主要由質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
二、功能特性:
三、技術(shù)特性:
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