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Hammer質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)要描述:

Hammer質(zhì)量流量控制器控制量程低至0-0.5SCCM,采用層流差壓原理,可本地顯示溫度,絕壓,質(zhì)量流量和體積流量,耐壓1MPa,低壓差條件下亦可使用。內置130種氣體,大大節約用戶(hù)成本。反應時(shí)間快。

更新時(shí)間:2024-10-16

訪(fǎng)問(wèn)數量:4468

  免費咨詢(xún):86-10-87241391

  發(fā)郵件給我們:info@hammertech.com.cn

一、Hammer質(zhì)量流量控制器系列

MC 標準系列

控制響應快、穩定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門(mén)為無(wú)摩擦閥門(mén),可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門(mén)。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響,滿(mǎn)量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的選擇;大量程:0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容,封閉式閥門(mén)設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,專(zhuān)門(mén)用于真空應用??啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

二、質(zhì)量流量控制器常用選配項

?     后置閥門(mén),優(yōu)化真空及背壓應用的控制

?     批量控制模式,依靠快速的閥門(mén)響應來(lái)分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類(lèi)2區 / ATEX認證1類(lèi)2區允許設備用于危險環(huán)境

?     9針或15針D-Sub等連接接口可選

?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用于光線(xiàn)不足的場(chǎng)合

三、Hammer質(zhì)量流量控制器性能參數

指標

MFC

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應時(shí)間

100ms

標準狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點(diǎn)漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128%(過(guò)流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數字)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據不同類(lèi)型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A)

 

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