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高壓質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)要描述:

高壓質(zhì)量流量控制器采用金屬外殼,可用于實(shí)驗室氣體測量或環(huán)境相對惡劣的場(chǎng)合。該產(chǎn)品采用熱式原理,熱式流量計是基于熱擴散原理而設計的流量?jì)x表.即利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。

更新時(shí)間:2024-10-16

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一、高壓質(zhì)量流量控制器設計特點(diǎn) 

熱式原理 
一體化設計
 
滿(mǎn)量程從 5SCCM 
 1000SLPM 
響應時(shí)間不超過(guò) 2 秒鐘
 
操作壓力可達
 20.7MPa 
對安裝位置不敏感
 
316SS 材質(zhì),允許測量腐蝕性氣體
 
無(wú)直管段安裝要求
 
單電源供電
 


二、高壓質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數 
流量范圍 :從 0-5SCCM  0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一
 
響應時(shí)間 : 1  2 
 
精 度 : ± 1% 滿(mǎn)量程(除 204A 型)
 
---------± 1± 1.5%.滿(mǎn)量程( 204A 型) 
重 復 性 : ± 0.2% 滿(mǎn)量程
 
量 程 比 : 50:1  2%-100% 滿(mǎn)量程)
 
環(huán)境和操作溫度 : -10  70 
 
大操作壓力 : 3000PSIG  20.7MPa ),具體請參考資料

零點(diǎn)漂移: ± 0.05 % 滿(mǎn)量程 /  
范圍漂移 : ± 0.05 % 讀數 / 
 
壓力漂移 : 0.1%/atm (相對于 N 2 
 
安裝方向 : 對位置不敏感
 
預熱時(shí)間 : 10 分鐘
 
電氣連接 : 卡式 ( 20 針)或 D 型( 9 針)
 
設定點(diǎn)輸入流量信號輸出 :0-5VDC/0-5VDC;4-20mA/4-20mA

供應電源 : 
電壓輸出:+ 12( ± 5  ) (僅適用于 0-5VDC  1-5VDC 流量信號輸出)或  15( ± 10 
 )VDC 
電流輸出:+ 15( ± 5  )   24( ± 15 
 )VDC 
電流消耗:<
 250mAdc 
重 量 :請參考表一

三、結構材質(zhì)

主體: 316SS 
傳感器組件 :
 316LSS 
孔:
 316SS 
閥構成部件 (接液):
 
302SS 
, 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222  251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802  202 、 221 、 222  251 型)
 
密封材質(zhì)(” O ”型環(huán)和閥座):
 
Buna N 
, EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A  204A 型);Buna N , Viton 202A 、 203A  204A 型)
 
過(guò)程連接: 316SS

四、選型表

型號

流量范圍

小/大 N2

大操作壓力

PSIG(MPa)

重量

Ibs(Kg)

201

0-5SCCM/0-10SLPM

1000(6.9)

1.2(0.54)

202

 0-10SLPM/0-100SLPM

1000(6.9)

4.1(1.86)

221

0-5SCCM/0-10SLPM

3000(20.7)

4.11.86

222

 0-10SLPM/0-100SLPM

3000(20.7)

4.11.86

251

0-10SLPM/0-50SLPM

1000(6.9)

1.40.64

202A

 0-10SLPM/0-100SLPM

200(1.4)

5.12.31

203A

 0-100SLPM/0-500SLPM

200(1.4)

10.94.95

204A

 0-500SLPM/0-1000SLPM

200(1.4)

10.94.95

 

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